芯火燎原处,中国智造正破局。
5月20日-22日,腾旋科技携『半导体旋转接头』在新加坡金沙会展中心赴约全球半导体行业翘首以盼的年度盛典——SEMICON Southeast Asia 2025(东南亚半导体展览会)。
以“小接头”驱动“大国智造”
在芯片制造工艺中,CMP(化学机械抛光)与晶圆减薄是决定良率与性能的核心环节。然而,传统旋转接头在高速、高真空、超洁净环境下易泄漏、寿命短,长期被海外巨头垄断。腾旋科技自主研发的旋转接头,通过专业无尘装配车间及高压清洗等先进工艺,确保产品达到洁净标准。
依托博士研发团队,历时数年正向攻关,半导体旋转接头实现超长寿命(6亿转)、低扭矩(≯1.5NM)低泄漏量(≤0.5kPa/min)及真空环境下(-90kPa至450kPa)稳定运转的多通路机械密封式旋转接头,成功攻克半导体设备清洁度要求高、易泄漏、寿命短等行业痛点,助力客户实现工艺可靠性升级。
打破进口依赖,旋转接头国产化优选:
半导体国产化的浪潮中,腾旋科技用20年磨一剑的坚守证明:创新在于攻克每一次的精度关卡,中国半导体产业链的韧性突破,正从这些"关键部件"开始悄然生长......
未来已来,腾旋期待与您的合作共赢!