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: ML02R008F半导体旋转接头

特点：
1-8通道可选
回转扭矩小
泄漏量微小
多通路订制设计
可带过孔设计
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[应用领域]半导体制造"中国芯"！腾旋科技携自主方案出征新加坡2025年05月26日 11:22: 芯火燎原处，中国智造正破局。 5月20日-22日，腾旋科技携『半导体旋转接头』在新加坡金沙会展中心赴约全球半导体行业翘首以盼的年度盛典——SEMICON Southeast Asia 2025（东南亚半导体展览会）。以“小接头”驱动“大国智造” 在芯片制造工艺中，CMP（化学机械抛光）与晶圆减薄是决定良率与性能的核心环节。然而，传统旋转接头在高速、高真空、超洁净环境下易泄漏、寿命短，长期被海外巨头垄断。腾旋科技自主研发的旋转接头，通过专业无尘装配车间及高压清洗等先进工艺，确保产品达到洁净标准。依托博士研发团队，历时数年正向攻关，半导体旋转接头实现超长寿命（6亿转）、低扭矩（≯1.5NM）低泄漏量(0.5kPa/min)及真空环境下（-90kPa至450kPa）稳定运转的多通路机械密封式旋转接头，成功攻克半导体设备清洁度要求高、易泄漏、寿命短等行业痛点，助力客户实现工艺可靠性升级。打破进口依赖，旋转接头国产化优选：半导体国产化的浪潮中，腾旋科技用20年磨一剑的坚守证明：创新在于攻克每一次的精度关卡，中国半导体产业链的韧性突破，正从这些"关键部件"开始悄然生长...... 未来已来，腾旋期待与您的合作共赢！; 阅读（31）标签：

[行业动态]解密工信部展品：腾旋如何用"一滴不漏"技术破局半导体高端装备“卡脖子”难题2025年03月27日 10:14: 在全球半导体产业链博弈加剧的背景下，中国高端装备核心部件领域再传捷报。国内旋转密封技术领军企业腾旋科技，自主研发的旋转接头通过半导体行业头部企业验证，从样品测试到量产，已累计交付300多台旋转接头，保证设备的长效稳定运转，成功打破国外品牌长期的技术垄断。目前腾旋已与多家半导体行业龙头企业达成战略合作，在半导体抛光机、薄膜沉积设备、减薄机等半导体关键装备实现国产化配套。半导体设备对旋转接头的洁净度、密封性和寿命要求极为严苛，腾旋博士团队正向研发，实现超长寿命（6亿转）、低扭矩（≯1.5NM）、低泄漏量（0.5kPa/min）及真空环境下（-90kPa至450kPa）稳定运转的多通路机械密封式旋转接头设计制造技术。这不仅是动密封技术的突破，更是高端装备自主可控的重要里程碑。凭借突破性创新，经国家制造业转型升级大基金推荐，腾旋高精特产品入选工信部组织的"专精特新"小巨人企业卡脖子、补短板产品展，半导体旋转接头、航空机械密封、航空旋转接头、机床高速旋转接头等，共同亮相北京工信部一楼展厅，展期1个月。此次在工信部展厅的聚光灯下，既是肯定，更是号角。未来，腾旋将持续深耕密封行业，助推半导体、航空等产业升级，让世界看见中国智造的硬核突破！; 阅读（41）标签：

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