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  • 半导体ECD设备用旋转接头MSH02R03

    半导体ECD设备用旋转接头MSH02R03 2026-03-27 09:37:26 【产品】

    MSC3005R05为一款中空无主轴旋转接头，中心孔需要安装到客户机主轴，客户机主轴需要开设过流体孔。该型旋转接头能够和客户机主轴集成，使得客户设备更集成。大通道数量为5。该型旋转接头采用机械密封设计。中心孔直径为φ29。
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    • 半导体ECD设备用旋转接头

      半导体ECD设备用旋转接头 2026-03-17 10:30 【文章】

      腾旋半导体ECD设备用旋转接头特点1)电滑环与液滑环集成一体，体积小；2)IP54防护等级；3)转速高达1000rm；4)扭矩小。......