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半导体旋转接头
  • MSH02R03 ECD设备用旋转接头
MSH02R03 ECD设备用旋转接头

MSC3005R05为一款中空无主轴旋转接头,中心孔需要安装到客户机主轴,客户机主轴需要开设过流体孔。该型旋转接头能够和客户机主轴集成,使得客户设备更集成。大通道数量为5。该型旋转接头采用机械密封设计。中心孔直径为φ29。

产品构成PRODUCT MIX

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技术参数PARAMETERS

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