半导体晶圆减薄设备专用旋转接头

来源：时间：2026-03-13

腾旋晶圆减薄设备专用旋转接头
1.特点
1)抗粉尘能力强。专门的结构设计，适用于输送含粉尘及颗粒物的液体，对流体洁净度无高要求；
2)低启动扭矩，设备启动平稳；
3)模块化设计，降低客户采购成本；
4)尺寸小，有利于降低客户设备高度；
5)发热量低，可长期在封闭空间安装；

2.技术指标