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半导体旋转接头
  • 半导体行业单晶炉旋转接头
半导体行业单晶炉旋转接头


单晶炉旋转接头用在半导体上游单晶硅棒拉制工序,安装在坩埚转轴底部。坩埚一边旋转升降一边长晶,软管不能扭绞,旋转接头就是做动态密封,持续输送高纯冷却水,冷却坩埚支撑轴,保障长晶稳定,是半导体硅衬底生产的关键流体密封件。

产品构成PRODUCT MIX

单晶炉 dd