离子注入机冷却设备用旋转接头

半导体旋转接头

离子注入冷却设备用旋转接头

安装在离子注入机靶台（晶圆旋转载台/静电卡盘ESC）的旋转主轴后端。靶台要高速往复旋转、摆动，让晶圆接收均匀离子束掺杂；冷却水管、工艺气管路是固定不动，旋转接头就连接**静止管路与高速旋转的靶台主轴**，处于高真空腔体外部/真空过渡区。产品构成PRODUCTMIX技术参数PARAMETERS转速2500RPM温度压力0.9Ka适用介......

安装在离子注入机靶台（晶圆旋转载台 / 静电卡盘 ESC）的旋转主轴后端。

靶台要高速往复旋转、摆动，让晶圆接收均匀离子束掺杂；冷却水管、工艺气管路是固定不动，旋转接头就连接**静止管路与高速旋转的靶台主轴**，处于高真空腔体外部 / 真空过渡区。