腾旋科技：深耕动态密封核心技术，支撑半导体装备关键环节

腾旋：深耕动态密封领域的旋转接头核心厂商

   腾旋科技（股票代码：430602）成立于1999年，是专业从事动态密封及液压传动产品研发、生产和销售的高新技术企业，也是国内具备进口替代能力的动态密封核心产品制造商。公司为工业和信息化部认定的国家专精特新重点“小巨人”企业。公司已形成动态密封、传动装置及航空液压件三大核心业务板块，在工程机械、盾构机、钢铁、造纸等传统领域持续巩固优势的同时，积极向半导体、航空航天、新能源及工业母机等战略性新兴产业拓展。2025年，公司总投资3.2亿元的无锡新总部研发与生产基地正式开工建设，将打造集研发与产业化于一体的高端平台，进一步提升企业技术创新能力与全球化运营水平。

技术能力：持续突破关键核心技术

   围绕动态密封及流体传输关键环节，腾旋科技持续加大研发投入，构建以博士领衔的高水平研发团队，建有省级重点实验室及多个省级创新平台。截至2025年末，公司拥有有效专利129项，其中发明专利28项，主持或参与制定4项国家及行业标准，是行业标准《旋转接头》（JB/T8725-2013）的起草单位。在长期技术积累基础上，公司在高转速密封、耐腐蚀材料应用、低泄漏控制及复杂工况适配等关键技术领域实现突破，核心产品性能达到国内一定水平，具备对标并逐步替代进口产品的能力。

产品体系：多系列产品覆盖关键应用场景

   围绕高端装备与半导体设备关键需求，公司已形成多系列旋转接头及密封产品体系，广泛应用于晶圆制造及高端装备关键工艺环节：

CMP晶圆抛光专用旋转头

特点:

1) 低泄漏量，确保设备长时间吸附工件；

2) 尺寸小，有利于降低客户设备高度；

3) 低启动扭矩，设备启动平稳；

4) 发热量低，可长期在封闭空间安装；

5) 模块化设计，降低客户采购成本；

6) 寿命长，采用机械密封;

型号：MSA08R03

晶圆减薄设备专用旋转接头

特点:

1) 抗粉尘能力强。独特的结构设计，适用于输送含粉尘及颗粒物的液体，对流体洁净度无高要求；

2) 低启动扭矩，设备启动平稳；

3) 模块化设计，降低客户采购成本；

4) 尺寸小，有利于降低客户设备高度；

5) 发热量低，可长期在封闭空间安装；

MSC3005R05

MSC3005R05为一款中空无主轴旋转接头，中心孔需要安装到客户机主轴，客户机主轴需要开设过流体孔。该型旋转接头能够和客户机主轴集成，使得客户设备更集成。大通道数量为5。

该型旋转接头采用机械密封设计。中心孔直径为φ29。

高速旋转接头

特点:

1) 转速高达3000rpm，

2) 扭矩较小；

3) 寿命长，采用特殊结构设计，配有自动风冷散热，近乎无摩擦旋转；

4) 结构紧凑，适合狭小空间安装；

5) 轴向跳动小，特别适用于划片机。

型号：MSG02R05

冷却专用旋转接头

特点:

1) 流阻小，通径大；

2) 零泄漏，不用担心污染车间环境；

3) 低启动扭矩，设备启动平稳；

4) 空心主轴，尾部可串联电滑环，中心孔用于穿电缆；

5) 尺寸小，有利于降低使用设备高度。

MSD02R08A

耐强酸强碱旋转接头

特点:

1) 可通入强酸和强碱溶液，流道材质、机封材料及O型圈采用耐腐蚀材质；

2) 具有一定耐颗粒污染物性能；

3) 外形尺寸小；

4) 转速可达600rpm，需要外接冷却循环水；

型号：MSE04R06  

ECD设备用旋转接头

特点:

1) 电滑环与液滑环集成一体，体积小；

2) IP54防护等级；

3) 转速高达1000rpm；

4) 扭矩小。

型号：MSH02R03

应用实践：深度融入半导体装备产业链

    腾旋科技产品已广泛应用于半导体设备及高端装备制造领域，并成功进入多家行业龙头企业供应体系。主要客户包括北方华创、华海清科、晶盛机电、芯丰精密、迈为科技、拓荆科技、先导智能等半导体及装备领域头部企业，同时服务于中国航发、中航工业、中国电科等国家重点单位。在半导体领域，公司产品在CMP抛光、晶圆减薄、划片等关键工艺环节实现应用，有效提升设备稳定性与可靠性，支撑国产高端装备持续迭代升级。

产业价值：补强关键零部件环节

    动态密封及旋转接头作为高端装备的重要基础部件，是保障设备稳定运行的关键环节。长期以来，该领域高端产品主要依赖进口。腾旋科技通过持续技术攻关与产品创新，在关键零部件领域实现突破，有效推动高端密封产品国产替代进程，提升产业链自主可控水平。

    未来，腾旋将持续深耕半导体及高端装备领域，强化核心技术研发与产业协同创新，不断提升产品性能与应用能力，为集成电路产业高质量发展提供坚实支撑。

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