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1999年
27年旋转接头研发生产厂家
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安装在离子注入机靶台（晶圆旋转载台/静电卡盘ESC）的旋转主轴后端。靶台要高速往复旋转、摆动，让晶圆接收均匀离子束掺杂；冷却水管、工艺气管路是固定不动，旋转接头就连接**静止管路与高速旋转的靶台主轴**，处于高真空腔体外部/真空过渡区。产品构成PRODUCTMIX技术参数PARAMETERS转速2500RPM温度压力0.9Ka适用介......
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靶台要高速往复旋转、摆动，让晶圆接收均匀离子束掺杂；冷却水管、工艺气管路是固定不动，旋转接头就连接**静止管路与高速旋转的靶台主轴**，处于高真空腔体外部 / 真空过渡区。
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转速 |
2500RPM |
温度 |
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压力 |
0.9Kpa |
适用介质 |
真空 |
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