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半导体行业单晶炉旋转接头

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单晶炉旋转接头用在半导体上游单晶硅棒拉制工序，安装在坩埚转轴底部。坩埚一边旋转升降一边长晶，软管不能扭绞，旋转接头就是做动态密封，持续输送高纯冷却水，冷却坩埚支撑轴，保障长晶稳定，是半导体硅衬底生产的关键流体密封件。

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